依據土地稅法第18條、第41條、土地稅法施行細則第14條辦理。
應備證件:
一、 建廠期間：
(一)建造執照（建築物用途載明物品製造、加工有關之用途）及其他相關文件。
(二)如建廠前依法需先取得工廠設立許可者，應加附工廠設立許可證明文件。
二、建廠完成後：
(一) 已達申辦工廠登記標準者， 應檢附工廠登記核准函。
(二)未達申辦工廠登記標準者，應檢附使用執照或建築改良物證明文件影本。（文件上用途載明與物品製造、加工有關之建築物）
申辦注意事項:
於每年（期）地價稅開徵40日（即9月22日）前提出申請。逾期申請者，自申請之次年（期）開始適用。